金融界2025年3月8日音讯，国度常识产权局信息显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司获得一项名为“等离子增强原子层千里积开辟”的专利，授权公告号CN222557054U，苦求日历为2024年2月。

专利摘抄显现，本实用新式提供了一种等离子增强原子层千里积开辟，包括等离子管、电极组件暖热体输入管路；等离子管包括N个等离子支管，N个等离子支管沿等离子增强原子层千里积开辟的高度场合按序建树，N为大于就是2的正整数；电极组件设有N组，每组电极组件均包括正电极和负电极，等离子支管建树于正电极和负电极之间，且N组电极组件与N个等离子支管逐个双应建树；气体输入管路设有N组，N组气体输入管路与N个等离子支管对应建树本实用新式能分歧牺牲不同等离子支管内先行者体的电离进度，有益于使不同晶圆上的千里淀物薄膜达到交流的厚度，晋升了同批次晶圆的均匀性。

天眼查贵府显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司，建树于2018年，位于青岛市，是一家以从事计较机、通讯和其他电子开辟制造业为主的企业。企业注册本钱1006720.789212万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标形势166次，财产陈迹方面有商标信息15条，专利信息576条，此外企业还领有行政许可55个。

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